哪些因素会直接影响涂层质量？涂层厚度如何测量？

影响涂层厚度均匀性的因素

若磁控源在整个靶面上的溅射不均匀，会导致涂层厚度不均匀。因此，在设计磁控源时，合理安排磁体结构，使边线或两端的磁场强度大于中间的磁场强度，便可改善膜厚的分布。镀件相对于磁控源有各种不同的运动方式，应根据磁控源的形状而定。行星机构运动方式的成膜性均匀，台阶覆盖性能好，镀件装载量大，它便是经常采用的运动方式。选择磁控源和镀件间的相对位置，让镀件运动，使其各表面受溅射的几率相等。

影响涂层应力的因素

不同的材料有不同的热膨胀系数，涂层材料与镀件的热膨胀系数相差越小，涂层因温度变化产生的应力就越小，金属或合金的韧性愈好，则沉积涂层的应力愈小。

涂层的应力随真空度的提高而降低，当溅射时氩气的分压低于0.13Pa时，涂层一般不会产生应力。

溅射粒子与镀件的入射角度小于15°，不会产生应力裂纹，大于15°后，涂层应力裂纹随角度的增大而增加。

镀件加热是产生应力裂纹的主要原因之一，因此，镀件的温度一般控制在产生裂纹的临界温度以下。

影响涂层反射率的因素

一般溅射速率越大，得到的涂层反射率越高，但不同金属涂层的反射率与溅射速率关系不同，应通过试验确定理想溅射速率。镀件表面粗糙度愈低，则涂层反射率愈大，反之亦然。涂层的反射率随膜厚的增加而降低，对不同的金属材料，其影响程度也不一样。一般涂层的反射率随氩气压力的增加而急剧下降，因此，氩气分压应控制在0.40~0.53Pa范围内。

涂层厚度测量

测量涂层厚度，需要使用涂层测厚仪。不同行业对仪器的需求不同，型号也不尽相同。通常说，更高的精度以及重复性更好的测厚仪，有利于厂家通过异常的膜厚数据判断出工艺过程中出现的问题，究竟是原料出现问题了还是喷涂设备存在故障，尽可能减少产品质量缺陷进，从而达到质量控制的目的。而林上LS223涂层测厚仪。仪器具有以下特点：

1、仪器设计简单，无需频繁校准只需要简单调零即可开始测量。

2、采用红宝石测头，耐磨耐腐蚀仪器经久耐用。

3、仪器在Fe/NFe模式下可以自动识别测量基材，并快速自动转换。

4、涂层测厚仪的探头采用先进的数字探头技术，测量数据不易受到干扰保证了测量精度。

5、主机与探头采用分离式设计。